[详细]一种离子氮化炉，包括炉体(1)、炉底盘(9)、冷却装置和进气抽气系统，炉体(1)与炉底盘(9)扣合形成炉腔，其特征在于：炉腔内设置阴极盘(7)，阴极盘(7)通过底盘支柱(11)连接炉底盘(9)，阴极盘(7)上设置阴极工装(6)、阴极支柱(16)，阴极盘(7)上方设置阴极盖板(3)，阴极盖板(3)通过阴极支柱(16)支撑；所述的进气抽气系统包括进气口(12)、抽气管(17)，抽气管(17)一端连接炉底盘(9)中部，另一端深入炉腔内且端部管口高于阴极盖板(3)上表面，进气口(12)设置在炉底盘(9)上；所述的炉底盘(9)与阴极盘(7)之间设置气体分流屏(15)，气体分流屏(15)为中间开孔的圆盘；所述的阴极工装为上圆柱体(6.1)、下圆柱体(6.2)组成，上圆柱体(6.1)与下圆柱体(6.2)同轴，且上圆柱体(6.1)直径小于下圆柱体(6.2)；所述的阴极盖板(3)上设置圆柱形凸起。
